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隨著現(xiàn)代微電子技術(shù)的發(fā)展，具有優(yōu)越性能的薄膜材料，在航空、、生物等領(lǐng)域日益發(fā)揮重要作用，并得以廣泛運用。對于這些薄膜材料的機(jī)械性能檢測，由于傳統(tǒng)壓痕技術(shù)產(chǎn)生的壓痕尺寸大 ，不能準(zhǔn)確檢測微小尺寸材料的機(jī)械性能。近幾年發(fā)展起來的納米壓痕技術(shù)，測試精度達(dá)到納米級，滿足了科研者檢測薄膜材料機(jī)械性能的需要。
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